Jaké výrobky z křemene s vysokou čistotou se používají v procesech výroby integrovaných obvodů? Jaké jsou požadavky na obsah nečistot?
Mezi výrobky z křemene s vysokou čistotou, které se běžně používají v procesech výroby integrovaných obvodů, patří křemenné destičky, křemenné krystaly, křemenné trubice a křemenná okna.
U křemenných destiček musí být obsah nečistot extrémně nízký, obvykle v rozmezí částic na miliardu (ppb) nebo nižším. Je to proto, že destičky jsou během výrobního procesu vystaveny vysokým teplotám, tlakům, silným kyselinám, silným zásadám a dalším podmínkám a nečistoty mohou ovlivnit elektrické vlastnosti a spolehlivost destiček.
U křemenných krystalů musí být obsah nečistot také co nejnižší, obvykle v rozmezí ppb. Křemenné krystaly se používají k výrobě součástek, jako jsou oscilátory a filtry, a nečistoty mohou ovlivnit jejich frekvenční stabilitu a výkon.
U křemenných trubic a křemenných oken musí být obsah nečistot relativně nízký, zpravidla v rozmezí ppm (parts per million). Křemenné trubice a okna se používají k výrobě vakuových zařízení a optických přístrojů a nečistoty mohou ovlivnit jejich fyzikální a optické vlastnosti.
Lze shrnout, že požadavky na obsah nečistot v křemenných výrobcích s vysokou čistotou používaných v procesech výroby integrovaných obvodů jsou velmi přísné a nečistoty je třeba minimalizovat, aby se snížil jejich vliv na výkon zařízení.