Hvilke kvartsprodukter med høj renhed bruges i integrerede kredsløbsprocesser? Hvad er kravene til indhold af urenheder?

Kvartsprodukter med høj renhed, der ofte bruges i integrerede kredsløbsprocesser, omfatter kvartsskiver, kvartskrystaller, kvartsrør og kvartsvinduer.

For kvartswafere skal indholdet af urenheder være ekstremt lavt, generelt i størrelsesordenen parts per billion (ppb) eller lavere. Det skyldes, at waferne udsættes for høje temperaturer, tryk, stærke syrer, stærke baser og andre forhold under fremstillingsprocessen, og urenheder kan påvirke wafernes elektriske egenskaber og pålidelighed.

For kvartskrystaller skal indholdet af urenheder også holdes så lavt som muligt, typisk i ppb-området. Kvartskrystaller bruges til at fremstille komponenter som oscillatorer og filtre, og urenheder kan påvirke deres frekvensstabilitet og ydeevne.

For kvartsrør og kvartsvinduer skal indholdet af urenheder være relativt lavt, generelt i størrelsesordenen parts per million (ppm). Kvartsrør og -vinduer bruges til at fremstille vakuumudstyr og optiske enheder, og urenheder kan påvirke deres fysiske og optiske egenskaber.

Kort sagt er kravene til urenhedsindhold i kvartsprodukter med høj renhed, der bruges i integrerede kredsløbsprocesser, meget strenge, og urenheder skal minimeres for at reducere deres indvirkning på enhedens ydeevne.