Welche hochreinen Quarzprodukte werden in Prozessen für integrierte Schaltkreise verwendet? Welche Anforderungen gibt es an den Gehalt an Verunreinigungen?

Zu den hochreinen Quarzprodukten, die häufig in integrierten Schaltkreisen verwendet werden, gehören Quarzwafer, Quarzkristalle, Quarzrohre und Quarzfenster.

Bei Quarzwafern muss der Gehalt an Verunreinigungen extrem niedrig sein, im Allgemeinen im Bereich von Teilen pro Milliarde (ppb) oder darunter. Dies liegt daran, dass die Wafer während des Herstellungsprozesses hohen Temperaturen, Drücken, starken Säuren, starken Basen und anderen Bedingungen ausgesetzt sind und Verunreinigungen die elektrischen Eigenschaften und die Zuverlässigkeit der Wafer beeinträchtigen können.

Bei Quarzkristallen muss auch der Gehalt an Verunreinigungen so niedrig wie möglich gehalten werden, in der Regel im ppb-Bereich. Quarzkristalle werden zur Herstellung von Komponenten wie Oszillatoren und Filtern verwendet, und Verunreinigungen können ihre Frequenzstabilität und Leistung beeinträchtigen.

Bei Quarzrohren und Quarzfenstern muss der Gehalt an Verunreinigungen relativ niedrig sein, im Allgemeinen im Bereich von Teilen pro Million (ppm). Quarzrohre und -fenster werden für die Herstellung von Vakuumgeräten und optischen Vorrichtungen verwendet, und Verunreinigungen können ihre physikalischen und optischen Eigenschaften beeinträchtigen.

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Anforderungen an den Gehalt an Verunreinigungen für hochreine Quarzprodukte, die in Prozessen für integrierte Schaltungen verwendet werden, sehr streng sind und Verunreinigungen minimiert werden müssen, um ihre Auswirkungen auf die Leistung der Geräte zu verringern.