Milliseid kõrge puhtusastmega kvartsi tooteid kasutatakse integraallülituste valmistamisel? Millised on nõuded lisandite sisaldusele?

Kõrge puhtusastmega kvartstooted, mida tavaliselt kasutatakse integraallülituste valmistamisel, hõlmavad kvartsplaate, kvartskristalle, kvartstorusid ja kvartsaknaid.

Kvartsplaatide puhul peab lisandite sisaldus olema äärmiselt madal, tavaliselt miljardikosa (ppb) või madalam. Selle põhjuseks on asjaolu, et plaadid puutuvad tootmisprotsessi käigus kokku kõrgete temperatuuride, rõhu, tugevate hapete, tugevate aluste ja muude tingimustega ning lisandid võivad mõjutada plaatide elektrilisi omadusi ja usaldusväärsust.

Kvartskristallide puhul tuleb ka lisandite sisaldus hoida võimalikult madalal, tavaliselt ppb vahemikus. Kvartskristalle kasutatakse selliste komponentide nagu ostsillaatorid ja filtrid valmistamiseks ning lisandid võivad mõjutada nende sageduse stabiilsust ja jõudlust.

Kvartstorude ja kvartsakende puhul peab lisandite sisaldus olema suhteliselt madal, tavaliselt vahemikus miljondikosa (ppm). Kvartstorusid ja -aknaid kasutatakse vaakumseadmete ja optiliste seadmete valmistamiseks ning lisandid võivad mõjutada nende füüsikalisi ja optilisi omadusi.

Kokkuvõttes on integraallülituste protsessides kasutatavate kõrge puhtusastmega kvartsitoodete lisandite sisalduse nõuded väga ranged ja lisandite mõju vähendamiseks seadme toimivusele tuleb need viia miinimumini.