Mitä erittäin puhtaita kvartsituotteita käytetään integroitujen piirien prosesseissa? Mitkä ovat epäpuhtauspitoisuutta koskevat vaatimukset?

Integroiduissa piiriprosesseissa yleisesti käytettyihin erittäin puhtaisiin kvartsituotteisiin kuuluvat kvartsikiekot, kvartsikiteet, kvartsiputket ja -ikkunat. [...]