집적 회로 공정에 사용되는 고순도 석영 제품에는 어떤 것이 있나요? 불순물 함량에 대한 요구 사항은 무엇인가요?

집적 회로 공정에 사용되는 고순도 석영 제품에는 어떤 것이 있나요? 불순물 함량에 대한 요구 사항은 무엇인가요?

집적 회로 공정에 일반적으로 사용되는 고순도 석영 제품에는 석영 웨이퍼, 석영 결정, 석영 튜브, 석영 창 등이 있습니다.

석영 웨이퍼의 경우 불순물 함량이 일반적으로 10억ppb 이하로 매우 낮아야 합니다. 이는 웨이퍼가 제조 공정 중에 고온, 압력, 강산, 강염기 및 기타 조건에 노출되고 불순물이 웨이퍼의 전기적 특성과 신뢰성에 영향을 미칠 수 있기 때문입니다.

석영 결정의 경우 불순물 함량도 가능한 한 낮게 유지해야 하며, 일반적으로 ppb 범위로 유지해야 합니다. 수정은 오실레이터 및 필터와 같은 부품을 만드는 데 사용되며 불순물은 주파수 안정성과 성능에 영향을 줄 수 있습니다.

석영 튜브와 석영 창은 불순물 함량이 일반적으로 백만 분의 1(ppm) 범위로 비교적 낮아야 합니다. 석영 튜브와 창은 진공 장비와 광학 장치를 만드는 데 사용되며 불순물은 물리적 및 광학적 특성에 영향을 줄 수 있습니다.

요약하면, 집적 회로 공정에 사용되는 고순도 석영 제품에 대한 불순물 함량 요건은 매우 엄격하며 불순물이 디바이스 성능에 미치는 영향을 줄이기 위해 불순물을 최소화해야 합니다.