Hvilke kvartsprodukter med høy renhet brukes i integrerte kretsprosesser? Hvilke krav stilles til innhold av urenheter?

Kvartsprodukter med høy renhet som ofte brukes i integrerte kretsprosesser, omfatter kvartsskiver, kvartskrystaller, kvartsrør og kvartsvinduer.

For kvartsskiver må innholdet av urenheter være ekstremt lavt, vanligvis i milliarddeler (ppb) eller lavere. Dette skyldes at waferne utsettes for høye temperaturer, trykk, sterke syrer, sterke baser og andre forhold under produksjonsprosessen, og urenheter kan påvirke wafernes elektriske egenskaper og pålitelighet.

For kvartskrystaller må innholdet av urenheter også holdes så lavt som mulig, vanligvis i ppb-området. Kvartskrystaller brukes til å lage komponenter som oscillatorer og filtre, og urenheter kan påvirke frekvensstabiliteten og ytelsen.

For kvartsrør og kvartsvinduer må innholdet av urenheter være relativt lavt, vanligvis i størrelsesordenen ppm (parts per million). Kvartsrør og -vinduer brukes til å lage vakuumutstyr og optiske enheter, og urenheter kan påvirke de fysiske og optiske egenskapene.

Kort oppsummert er kravene til innhold av urenheter i kvartsprodukter med høy renhet som brukes i integrerte kretsprosesser, svært strenge, og urenheter må minimeres for å redusere deres innvirkning på enhetens ytelse.