Welke kwartsproducten met een hoge zuiverheidsgraad worden gebruikt in processen met geïntegreerde schakelingen? Wat zijn de vereisten voor het gehalte aan onzuiverheden?
Kwartsproducten met een hoge zuiverheidsgraad die vaak gebruikt worden in processen voor geïntegreerde schakelingen zijn onder andere kwartswafers, kwartskristallen, kwartsbuizen en kwartsvensters.
Voor kwartswafers moet het gehalte aan onzuiverheden extreem laag zijn, over het algemeen in het bereik van delen per miljard (ppb) of lager. Dit komt doordat de wafers tijdens het fabricageproces worden blootgesteld aan hoge temperaturen, drukken, sterke zuren, sterke basen en andere omstandigheden, en onzuiverheden kunnen de elektrische eigenschappen en betrouwbaarheid van de wafers beïnvloeden.
Voor kwartskristallen moet het gehalte aan onzuiverheden ook zo laag mogelijk worden gehouden, meestal in het ppb-bereik. Kwarts kristallen worden gebruikt om componenten zoals oscillatoren en filters te maken en onzuiverheden kunnen hun frequentiestabiliteit en prestaties beïnvloeden.
Voor kwartsbuizen en kwartsvensters moet het gehalte aan onzuiverheden relatief laag zijn, meestal in de orde van ppm (parts per million). Kwartsbuizen en -vensters worden gebruikt om vacuümapparatuur en optische apparaten te maken en onzuiverheden kunnen hun fysische en optische eigenschappen beïnvloeden.
Samengevat zijn de vereisten voor het gehalte aan onzuiverheden voor hoogzuivere kwartsproducten die gebruikt worden in processen voor geïntegreerde schakelingen zeer streng en moeten onzuiverheden geminimaliseerd worden om hun invloed op de prestaties van apparaten te verminderen.