Aké výrobky z kremeňa s vysokou čistotou sa používajú v procesoch integrovaných obvodov? Aké sú požiadavky na obsah nečistôt?

Medzi výrobky z vysokočistého kremeňa, ktoré sa bežne používajú v procesoch integrovaných obvodov, patria kremenné doštičky, kremenné kryštály, kremenné trubice a kremenné okná.

V prípade kremenných doštičiek musí byť obsah nečistôt veľmi nízky, spravidla v rozsahu častíc na miliardu (ppb) alebo nižšom. Je to preto, že doštičky sú počas výrobného procesu vystavené vysokým teplotám, tlakom, silným kyselinám, silným zásadám a iným podmienkam a nečistoty môžu ovplyvniť elektrické vlastnosti a spoľahlivosť doštičiek.

V prípade kryštálov kremeňa musí byť obsah nečistôt čo najnižší, zvyčajne v rozmedzí ppb. Kremenné kryštály sa používajú na výrobu komponentov, ako sú oscilátory a filtre, a nečistoty môžu ovplyvniť ich frekvenčnú stabilitu a výkon.

V prípade kremenných trubíc a kremenných okien musí byť obsah nečistôt relatívne nízky, spravidla v rozmedzí častíc na milión (ppm). Kremenné trubice a okná sa používajú na výrobu vákuových zariadení a optických prístrojov a nečistoty môžu ovplyvniť ich fyzikálne a optické vlastnosti.

Súhrnne možno povedať, že požiadavky na obsah nečistôt v kremenných výrobkoch s vysokou čistotou používaných v procesoch integrovaných obvodov sú veľmi prísne a nečistoty sa musia minimalizovať, aby sa znížil ich vplyv na výkon zariadenia.