Kateri kremenovi izdelki visoke čistosti se uporabljajo v procesih integriranih vezij? Kakšne so zahteve glede vsebnosti nečistoč?

Izdelki iz kremena visoke čistosti, ki se pogosto uporabljajo v procesih integriranih vezij, vključujejo kremenove ploščice, kremenove kristale, kremenove cevi in kremenova okna.

Pri kremenovih ploščicah mora biti vsebnost nečistoč zelo nizka, običajno v območju delcev na milijardo (ppb) ali manj. To pa zato, ker so ploščice med proizvodnim postopkom izpostavljene visokim temperaturam, pritiskom, močnim kislinam, močnim bazam in drugim pogojem, nečistoče pa lahko vplivajo na električne lastnosti in zanesljivost ploščic.

Pri kremenovih kristalih mora biti tudi vsebnost nečistoč čim manjša, običajno v območju ppb. Kvarčni kristali se uporabljajo za izdelavo komponent, kot so oscilatorji in filtri, nečistoče pa lahko vplivajo na njihovo frekvenčno stabilnost in delovanje.

Pri kremenovih ceveh in kremenovih oknih mora biti vsebnost nečistoč razmeroma nizka, običajno v območju delcev na milijon (ppm). Kvarčne cevi in okna se uporabljajo za izdelavo vakuumske opreme in optičnih naprav, nečistoče pa lahko vplivajo na njihove fizikalne in optične lastnosti.

Če povzamemo, so zahteve glede vsebnosti nečistoč za izdelke iz kremena visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesih integriranih vezij, zelo stroge, nečistoče pa je treba čim bolj zmanjšati, da se zmanjša njihov vpliv na delovanje naprave.