Які вироби з високочистого кварцу використовуються в процесах інтегральних схем? Які вимоги до вмісту домішок?

Кварцові вироби високої чистоти, які зазвичай використовуються в процесах інтегральних схем, включають кварцові пластини, кварцові кристали, кварцові трубки і кварцові вікна.

Для кварцових пластин вміст домішок повинен бути надзвичайно низьким, як правило, в межах частин на мільярд (ppb) або нижче. Це пов'язано з тим, що в процесі виробництва пластини піддаються впливу високих температур, тиску, сильних кислот, сильних лугів та інших умов, а домішки можуть впливати на електричні властивості та надійність пластин.

Для кварцових кристалів вміст домішок також повинен бути якомога нижчим, як правило, в діапазоні ppb. Кварцові кристали використовуються для виготовлення таких компонентів, як генератори та фільтри, і домішки можуть впливати на їхню частотну стабільність та продуктивність.

Вміст домішок у кварцових трубках і кварцових вікнах повинен бути відносно низьким, як правило, в діапазоні частин на мільйон (ppm). Кварцові трубки і вікна використовуються для виготовлення вакуумного обладнання та оптичних приладів, і домішки можуть впливати на їх фізичні та оптичні властивості.

Таким чином, вимоги до вмісту домішок у високочистих кварцових виробах, що використовуються в процесах інтегральних схем, дуже суворі, і домішки повинні бути зведені до мінімуму, щоб зменшити їхній вплив на продуктивність пристрою.